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漢可團(tuán)隊(duì)在熱絲化學(xué)氣相沉積(熱絲CVD,亦稱催化化學(xué)氣相沉積,CAT-CVD)非晶硅薄膜工藝技術(shù)與半導(dǎo)體真空工藝設(shè)備技術(shù)上的潛心積累多年,在非晶硅/晶體硅異質(zhì)結(jié)(HAC)太陽(yáng)電池量產(chǎn)領(lǐng)域厚積薄發(fā),形成了以下基于熱絲CVD技術(shù)的設(shè)備產(chǎn)品。

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